UVISEL 2 VUV - это «гибридный эллипсометр» , способный работать в двух режимах: в атмосфере азота или в основном вакууме. Его механическая конструкция оптимизирована для низкого потребления азота до 6 л / мин и обеспечивает быструю загрузку образца, которая занимает менее двух минут. Легко доступная камера впереди делает загрузку образцов очень удобной. UVISEL 2 VUV обеспечивает высокую чувствительность на длинах волн VUV . Он объединяет два источника энергии высокой мощности, оптику с высокой пропускной способностью, фотоэластичный модулятор CaF2 и два современных монохроматора. Измерение образца занимает менее 8 минут от 147 до 850 нм с превосходным отношением сигнал / шум. UVISEL 2 VUV революционизирует мир эллипсометров VUV, значительно уменьшая потребление азота и время, необходимое для очистки и измерения образцов. Известное программное обеспечение DeltaPsi2 управляет эллипсометром UVISEL 2 VUV, предлагая мощные функции сбора, моделирования и отчетности. Пользовательский интерфейс интуитивно понятен и подходит как для исследований, так и для промышленного использования. UVISEL 2 VUV обеспечивает непревзойденную скорость измерения и низкие эксплуатационные расходы, что делает его идеальным эллипсометром для характеристики многочисленных применений тонкой пленки от 147 до 2100 нм. Эллипсометр UVISEL 2 VUV может быть настроен и автоматизирован для производства.