CT-BW Серия CT-BW использует свои высокоэффективные решения в полупроводниковом производстве и областях промышленности со схожими процессами. Так как в новейших технологиях побочными продуктами являются высококоррозионные газы, а новое оборудование использует повышенную газовую нагрузку, более совершенные технологии утилизации представлены компанией CT clean solutions. Серия CT-BW отвечает этим новым требованиям. Помимо возможностей FLM серии, таких, как высокая эффективность очистки от фтороуглеродов и других газов, надежная утилизация всех побочных продуктов процессов осаждения и травления, возможность выбора различных газов в качестве топлива и соответствие международным требованиям, новая система разработана быть коррозиеустойчивой и способной переработать большое количество твердых продуктов реакции. Прямой дизайн входной и выходной трубы в купе с возможностью управления по температуре, а также разделением функциональных блоков, таких, как камера сгорания, увлажнитель, резервуар для жидкости и охлаждающая система, минимизируют риск закупорки и позволяют увеличить межремонтный ресурс оборудования.