Smart SE, мощный и экономичный спектроскопический эллипсометр Smart SE от HORIBA Scientific - это универсальный спектроскопический эллипсометр для быстрых и точных измерений тонкой пленки . Он характеризует толщину тонкой пленки от нескольких ангстрем до 20 мкм, оптические константы (n, k) и свойства тонкой пленки (такие как шероховатость, оптические градуированные и анизотропные слои и т. Д.).
Спектральный диапазон от 450 до 1000 нм измеряется за несколько секунд, а эллипсометрические данные анализируются с использованием программной платформы DeltaPsi2. Программное обеспечение объединяет два уровня программного обеспечения для выполнения как рутинного анализа с помощью предопределенных рецептов, так и расширенного анализа с использованием современного эллипсометрического моделирования.
Эллипсометр Smart SE представляет собой рентабельный тонкопленочный R & D-инструмент без каких-либо компромиссов по функциям и обеспечивает экономическую эффективность исследований . Он представляет собой интегрированную систему видения для точного позиционирования пятна, семь автоматизированных микрозондов размером до нескольких десятков микрон для измерения малых объектов и возможность измерения всей 16-элементной матрицы Мюллера всего за несколько секунд для изучение сложных образцов .
| Спектральный диапазон: | От 450 до 1000 нм |
| Разрешение спектров | Лучше 3нм |
| Источник света | Комбинированный галогеновый и синий светодиод |
| Время измерения | От 1сек до 10 с |
| Размер луча | 75 мкм * 150 мкм, 100 мкм * 250 мкм, 100 мкм * 500 мкм, 150 мкм * 150 мкм, 250μm * 250μm, 250μm * 500μm, * 500 мкм 500 мкм |
| Угол падения | 45 0 90 0 с шагом 5 0 |
| Размер образца | До 200 мм |
| Выравнивание выборки | Ручная регулировка высоты и наклона 17 мм |
| Габаритные размеры | 100cm * 46cm * 23cm (W * H * D) |
| Выступления | |
|---|---|
| Точность сквозного воздушного потока | Ψ = 45 0 ± 0,05 0 Δ = 0 0 ± 0,2 0 |
| Точность толщины на 1000 Å Оксид | 0,04% |
| Повторяемость толщины на 1000 Å оксиде | ± 0,02% |