Термоэлектрическая система регулирования температуры на месте использования (Point-of-Use, Semistat) обеспечивает воспроизводимое регулирование температуры для задач плазменного травления. Данная система обеспечивает динамическое регулирование температуры электростатического держателя пластин (ESC) и может использоваться для любых видов травления. Термоэлектрические системы регулирования температуры LAUDA Semistat основаны на проверенных и известных принципах теплопередачи элементами Пельтье. Использование этих элементов позволяет быстро и точно регулировать температуру, что необходимо для реализации сложных процессов при производстве все более мелких компонентов. Термоэлектрический процесс-термостат LAUDA Semistat S 2400 выпускается для полупроводниковой промышленности, имеет рабочий диапазон от −20 до 90 °C и холодопроизводительность до 2,45 кВт. Благодаря использованию систем регулирования температуры на месте использования (Semistat) потребление энергии по сравнению с системами на базе компрессора можно снизить на 90 %. Поскольку устройство занимает очень мало места и его можно установить под полом на месте использования, расход площади чистого помещения минимизируется. Быстрое и точное регулирование температуры профилей температур процесса до ±0,1 K позволяет достигать более высокой однородности «от пластины к пластине».
Особенности лабораторного процесс-термостата LAUDA Semistat S 2400:
• Максимальный объем заполнения: 1,25 литр;
• Диапазон рабочих температур: от −20°C до +90°C;
• Компрессор и система без хладагента с низким потреблением энергии;
• Охлаждающая мощность до 2,45 кВт;
• Динамический, стабильный контроль температуры в месте использования;
• Чрезвычайно низкий объем теплоносителя;
• Улучшенная доступность и минимальное использование чистых помещений;
• Локально заменяемые модули для упрощения поиска неисправностей.
Спецификация
Наименование | Значение |
Рабочая температура, минимально градусов Цельсия | −20 |
Рабочая температура, максимально градусов Цельсия | 90 |
Холодопроизводительность при 20 °C, кВт | 0,35 |
Холодопроизводительность при 0 °C, кВт | 1,4 |
Холодопроизводительность при –20 °C, кВт | 2,45 |
Объем наполнения, максимально литров | 1,25 |
Масса, кг | 25 |
Размеры (Ш х Г х В), миллиметров | 116 x 300 x 560 |
Максимальное давление нагнетания, бар | 2,8 |
Максимальный расход при нагнетании, литров в минуту | 24 |
Присоединительная резьба насоса, дюймов | 1/2 |