Verios представляет пятое поколение сканирующих электронных микроскопов ультрасверхвысокого разрешения флагманской линейки компании Thermo Fisher Scientific. Прибор обеспечивает субнанометровое разрешение в диапазоне ускоряющих напряжений 1–30 кВ и высочайшую контрастность изображения. Прибор обладает непревзойденными характеристиками при работе на низких ускоряющих напряжениях и с малоэнергетичными электронами (до 20 эВ), благодаря которым обеспечивает получение точных данных о структуре поверхности, недоступных при использовании других методов. Максимальная разрешающая способность прибора достигает 0,6 нм. Микроскоп Verios — лучшее аналитическое решение при производстве полупроводников и устройств хранения данных. Существенно расширяя возможности стандартных СЭМ, этот прибор позволяет работать с наномасштабной топологией, что превращает его в комплексное решение для фундаментальных и прикладных исследований, сопровождения технологических процессов, создания новых материалов и устройств.
Основные преимущества:
| Тип микроскопа | Сканирующий |
| Область применения | Материаловедение |
| Направление деятельности | 2D-анализ |
| Объекты интереса | 1,1 нм – 10 нм |
| Характеристики электронной пушки | |
| Тип катода | Автоэмиссионный катод типа Шоттки |
| Максимальное разрешение (SE), нм | 0,6 |
| Диапазон ускоряющего напряжения, В | 350–30 000 |
| Минимальная энергия приземления электронов, эВ | 20 |
| Максимальный ток зонда, нА | 100 |
| Предметный столик | |
| Тип столика | |
| Мультифункциональный на 18 держателей 12 мм | Наличие |
| На 18 держателей 12 мм | Нет |
| На 7 держателей 12 мм | Нет |
| Пьезо | Наличие |
| Механический | Нет |
| Максимальный вес образца, г | 500 |
| Максимальный размер образца, Ø мм | 150 |
| Ход по осям X и Y, мм | 150 × 150 |
| Воспроизводимость по осям X и Y, мкм | < 1,0 |
| Ход по оси Z, мм | 55 |
| Поворот, град. | 360 |
| Наклон, град. | -10 / +60 |
| Ширина камеры, мм | 379 |
| Количество портов для установки дополнительных детекторов, шт.) | 21 |
| Детекторы | |
| Детектор вторичных электронов Эверхарта-Торнли (ETD) | Наличие |
| ИК-камера для наблюдения положения образца в камере | Наличие |
| Навигационная камера высокого разрешения Nav-Cam+™ | Наличие |
| Интегрированная система измерения тока луча | Наличие |
| Детектор вторичных электронов для низкого вакуума (LVD) | Нет |
| Газовый детектор вторичных электронов для режима ESEM | Нет |
| T1 – нижний внутрилинзовый детектор | Нет |
| T2 – верхний внутрилинзовый детектор | Нет |
| T3 – внутриколонный детектор | Нет |
| Внутрилинзовый детектор Elstar SE/BSE (TLD-SE, TLD-BSE) | Наличие |
| Внутриколонный детектор Elstar SE/BSE (ICD) | Наличие |
| Внутриколонный детектор Elstar BSE (MD) | Наличие |
| Детектор направленных обратно-отраженных электронов (DBS) | Опция |
| Газовый аналитический детектор обратно-отраженных электронов DBS-GAD | Нет |
| Аналитический ESEM-детектор DBS-ESEM | Нет |
| Детектор прошедших электронов STEM 3+ | Опция |
| Детектор для катодолюминесценции (CL) | Опция |
| Детектор Raman | Опция |
| EDS | Опция |
| EBSD/WDS | Опция |
| Режимы вакуума: | |
| Высокий вакуум, Па | < 2,6 × 10 ⁻ ⁴ |
| Низкий вакуум, Па | Нет |
| Режим естественной среды (влажность 100 %), Па | Нет |
| Безмасляная вакуумная система | Наличие |
| Дополнительное оборудование: | |
| Пакет Wet-STEM | Нет |
| Криоочистка камеры | Опция |
| Плазменная очистка камеры | Опция |
| Литография | Опция |
| Крио-СЭМ | Опция |
| ГИС | Опция |
| Манипулятор | Опция |
| Зондовые станции | Опция |
| Панель управления микроскопом | Опция |
| Джойстик для управления столиком | Опция |
| Столик для охлаждения | Опция |
| Столик для нагрева | Опция |
| Столик для растяжения/сжатия | Опция |
| Вакуумный шлюз | Опция |
| Функция замедления пучка | Опция |
| Программное обеспечение: | |
| MAPS™ | Опция |
| MAPS™ + correlative work | Опция |
| AutoTEM | Нет |
| Auto Slice&View | Нет |
| ColorSEM Technology | Опция |
| FLASH | Опция |
| SmartAlign Technology | Опция |
| Pattern generation software | Опция |
| AutoScript 4, Python-based Application Programming Interface (API) | Опция |
| TopoMaps for image colorization, image analysis and 3D surface reconstruction | Опция |
| Remote control | Опция |
| Web-enabled data archive | Опция |