СЭМ Quattro имеет высокое разрешение (до 0,8 нм), которое сочетается с высоким контрастом изображения благодаря автоэмиссионному катоду типа Шоттки и использованию передовых сверхчувствительных детекторов. Три вакуумных режима — высокий, низкий и естественной среды (ESEM) — позволяют анализировать практически любые образцы, в том числе непроводящие, газящие, а также подверженные разрушению под электронным лучом или в высоком вакууме. Режим ESEM является уникальным и незаменимым при работе с жесткими диэлектриками, в особенности при больших увеличениях более 50 000х, а также даёт возможность работать в точке росы (влажность 100 % ) с жирными и влажными образцами. Аналитическая камера внушительных размеров с большим количеством портов для установки аналитических приставок и устройств для динамических экспериментов в сочетании с уникальной вакуумной системой делают СЭМ Quattro универсальной системой для решения мультидисциплинарных, прикладных и исследовательских задач.
Основные преимущества:
| Тип микроскопа | Сканирующий |
| Область применения | Материаловедение, Науки о живом, Образование. Междисциплинарные научные центры |
| Направление деятельности | 2D-анализ, Биология, Междисциплинарный мультимодальный и мультимасшабный анализ |
| Объекты интереса | 11 нм – 100 нм |
| Характеристики электронной пушки | |
| Тип катода | Автоэмиссионный катод типа Шоттки |
| Максимальное разрешение (SE), нм | 1 |
| Диапазон ускоряющего напряжения, В | 200–30 000 |
| Минимальная энергия приземления электронов, эВ | 20 |
| Максимальный ток зонда, нА | 200 |
| Предметный столик | |
| Тип столика | |
| Мультифункциональный на 18 держателей 12 мм | Опция |
| На 18 держателей 12 мм | Наличие |
| На 7 держателей 12 мм | Нет |
| Пьезо | Нет |
| Механический | Наличие |
| Максимальный вес образца, г | 500 |
| Максимальный размер образца, Ø мм | 122 |
| Ход по осям X и Y, мм | 110 × 110 |
| Воспроизводимость по осям X и Y, мкм | < 3,0 |
| Ход по оси Z, мм | 65 |
| Поворот, град. | 360 |
| Наклон, град. | -15 / +90 |
| Ширина камеры, мм | 340 |
| Количество портов для установки дополнительных детекторов, шт.) | 12 |
| Детекторы | |
| Детектор вторичных электронов Эверхарта-Торнли (ETD) | Наличие |
| ИК-камера для наблюдения положения образца в камере | Наличие |
| Навигационная камера высокого разрешения Nav-Cam+™ | Опция |
| Интегрированная система измерения тока луча | Опция |
| Детектор вторичных электронов для низкого вакуума (LVD) | Наличие |
| Газовый детектор вторичных электронов для режима ESEM | Наличие |
| T1 – нижний внутрилинзовый детектор | Нет |
| T2 – верхний внутрилинзовый детектор | Нет |
| T3 – внутриколонный детектор | Нет |
| Внутрилинзовый детектор Elstar SE/BSE (TLD-SE, TLD-BSE) | Нет |
| Внутриколонный детектор Elstar SE/BSE (ICD) | Опция |
| Внутриколонный детектор Elstar BSE (MD) | Нет |
| Детектор направленных обратно-отраженных электронов (DBS) | Опция |
| Газовый аналитический детектор обратно-отраженных электронов DBS-GAD | Наличие |
| Аналитический ESEM-детектор DBS-ESEM | Нет |
| Детектор прошедших электронов STEM 3+ | Опция |
| Детектор для катодолюминесценции (CL) | Опция |
| Детектор Raman | Опция |
| EDS | Опция |
| EBSD/WDS | Опция |
| Режимы вакуума: | |
| Высокий вакуум, Па | < 6,0 × 10 ⁻ ⁴ |
| Низкий вакуум, Па | 200 |
| Режим естественной среды (влажность 100 %), Па | 4 000 |
| Безмасляная вакуумная система | Опция |
| Дополнительное оборудование: | |
| Пакет Wet-STEM | Опция |
| Криоочистка камеры | Опция |
| Плазменная очистка камеры | Опция |
| Литография | Опция |
| Крио-СЭМ | Опция |
| ГИС | Опция |
| Манипулятор | Опция |
| Зондовые станции | Опция |
| Панель управления микроскопом | Опция |
| Джойстик для управления столиком | Опция |
| Столик для охлаждения | Опция |
| Столик для нагрева | Опция |
| Столик для растяжения/сжатия | Опция |
| Вакуумный шлюз | Опция |
| Функция замедления пучка | Опция |
| Программное обеспечение: | |
| MAPS™ | Опция |
| MAPS™ + correlative work | Опция |
| AutoTEM | Опция |
| Auto Slice&View | Опция |
| ColorSEM Technology | Опция |
| FLASH | Опция |
| SmartAlign Technology | Опция |
| Pattern generation software | Опция |
| AutoScript 4, Python-based Application Programming Interface (API) | Опция |
| TopoMaps for image colorization, image analysis and 3D surface reconstruction | Опция |
| Remote control | Опция |
| Web-enabled data archive | Опция |