Является усовершенствованием модели ST400 и предназначен для таких образцов, при исследовании которых необходимо проведение измерений в субнанометровом диапазоне. Модель снабжена атомно-силовым микроскопом. Моторизованный стол, высота образца – до 200 мм.
| Тип | Стационарный |
| Измерение по оси Z, мкм | 20000 |
| Перемещение по оси XY, мм | 150 |
| Визуализация | Да |
| Скорость сканирования, мм/сек | 20 |
| Перемещение по оси Z, мм | 50, моторизованный |
| Макс. вес образца, кг | 8 |
| Линейный оптический сенсор | Да |
| Размер, см | 69 х 68 х 51 |