SiBrickScan (SBS) — это специализированная система, работающая в режиме реального времени, для количественного определения содержания кислорода в цельных слитках кремния, результатом которого является профилирование концентрации вдоль продольной оси слитка. Получение этой информации без распиливания пластин или тестовых образцов является экономически целесообразным. Количественное определение содержания междоузельного кислорода методом ИК-Фурье спектроскопии (ASTM/SEMI 1188) является хорошо известным и важным методом анализа, но оно ограничено образцами Si толщиной порядка нескольких миллиметров. SiBrickScan (SBS) преодолевает это ограничение и является первой коммерчески доступной, специализированной системой для определения градиента кислорода в слитках вдоль всей их главной оси без необходимости трудоемкой подготовки тонких образцов. SBS основан на анализе соответствующей полосы поглощения инфракрасного излучения при помощи надежной и современной технологии Bruker FTIR.
Основные преимущества:
| Тип | Промышленный |
| Метод анализа | ИК среднего диапазона |
| Корпус спектрометра | Герметичный, Осушаемый |
| Детекторы | DTGS |
| Лазер | NeHe |
| Расширение спектрального диапазона | Фиксированный |
| Стандартное спектральное разрешение | 1 см-1 |
| Тип образцов | твердые |
| Максимальный спектральный диапазон | От 1 500 см¯¹ до 280 см¯¹ |
| Максимальное спектральное разрешение | 1 см¯¹ |
| Скорость сканирования | 5 сканов/сек |
| Встроенный сенсорный экран и специальное программное обеспечение OPUS-TOUCH | Нет |
| Встроенная газовая кювета | Нет |
| Приставки | Нет |