Гибридные турбомолекулярные насосы на магнитном подвесе ATH-M

Ротор всех насосов этой серии имеет магнитный подвес, что исключает применение смазки и делает серию АТН-М абсолютно безмасляной. Это же обстоятельство, в отличие от насосов на подшипниках качения, обеспечивает отсутствие трения. Таким образом, насосы серии АТН-М, при использовании их в чистых процессах, не требуют периодического обслуживания. Во многих применениях такого рода АТН-М непрерывно работают многие годы без единого вмешательства.

Геометрия поверхностей ротора и статора каждой модели АТН-М вычислена при помощи компьютера. При этом ключевыми условиями были обеспечение большого потока откачиваемого газа при высоком давлении на фланце всасывания (для случаев большого газовыделения в объёме) и способность достигать глубокого разряжения (8*10-9 мбар), а также минимальные гидродинамические потери. Ротор и статор изготавливаются высокоточным фрезерованием (+/- 1 мкм) из цельной заготовки, благодаря чему исключены дисбалансы и остаточные напряжения металла в местах крепления лопастей.

Основные области применения:

- Осаждение покрытий

- плавильные печи

- глубокое травление микромеханических элементов

- ионная ректификация

- ионное травление

- электронная микроскопия

- имитация космического пространства

- ускорители частиц

- производство полупроводников

- научные исследования и т.п.

АТН-М одна из самых надёжных систем в своём классе. Конструкция насоса не имеет механически изнашивающихся деталей, что исключает периодическое обслуживание. Даже в случае аварийного отключения сетевого питания во время вращения ротора система авторотации обеспечит плавную его парковку. При этом не требуется источник бесперебойного питания, так как система использует энергию вращения ротора. Единственный элемент, который может потребовать замены - резервные роликовые подшипники торможения. Они включены в конструкцию насоса на случай непроизвольного отсоединения работающего насоса от контроллера либо обширного прорыва атмосферы в откачиваемый объём. В этих двух экстренных случаях резервные подшипники обеспечат безопасное торможение ротора. Ресурс подшипников - до 10 торможений. О необходимости их замены подскажет контроллер.

Система автоматической балансировки:

Роторы насосов серии АТН-М снабжены системой автоматической балансировки по 5-ти осям. Балансировки осуществляются в реальном времени. Контроллер обнаруживает дисбаланс, сравнивая показания датчика положения по каждой из осей с эталонным банком данных и вырабатывает управляющий сигнал на соответствующее изменение тока в электромагнитах. Автоматическая балансировка позволяет насосу эффективно работать даже в условиях интенсивного осаждения загрязнений на лопастях и исключить возникновение вибраций.

Система предотвращения внутренних конденсаций

Продувка инертным газом является стандартной системой для всей серии АТН-М. Её следует задействовать в случае откачки тех сред, которые содержат коррозионные газы либо легкоосаждаемые субстанции. При вдувании, инертный газ проходит через область подшипников и соединяется с откачиваемой средой на уровне нижнего фланца молекулярной ступени, препятствуя, таким образом, попаданию откачиваемой среды под юбку ротора и, как следствие, возникновению осаждений и коррозии в наиболее чувствительных областях насоса.

Таблица технических характеристик турбонасосов серии АТН-М

Модель	ATH 500M	ATH 1300 M ATH 1300 MT	ATH 1603 M ATH 1600 MT	ATH 2303 M ATH 2300 MT	ATH 2804 M ATH 2804 MT	ATH 3204 M ATH 3204 MT
Габаритные размеры
Откачные кривые N2 - чёрная кривая He - синяя кривая H2 - красная кривая Ar - зелёная кривая
Скорость откачки, л/с - по Азоту (N2) - по Гелию (Не) - по Водороду (Н2) - по Аргону (Ar)	550 390 190 530	920 810 490 920	1400 970 540 1350	2150 1800 1100 2000	2350 2300 1650 2350	3050 2500 1700 2900
Фланец - всасывания - выхлопа, ISO-KF	DN100/DN160 DN25	DN160/DN200 DN40	DN200/DN250 DN40	DN250 DN40	DN250 DN40	DN320 DN40
Предельное разряжение, мбар	< 1 . 10-8	< 6 . 10-9	< 6 . 10-9	< 6 . 10-9	< 6 . 10-9	< 6 . 10-9
Максимальное рабочее давление на выхлопе, мбар	2,6	1,5	1,7	2,9	3,4	3,0
Скорость вращения ротора, об/мин	50 000	39 000	39 000	31 000	25 000	25 000
Тип охлаждения	Водяное	Водяное	Водяное	Водяное	Водяное	Водяное
Вес (кг)	17-18	34	42	60	98	80
Контроллер	OBC	OBC	OBC/Magpower	OBC/Magpower	OBC	OBC

*МТ - прогреваемая версия (Для особо химически активных сред рекомендуется применять насосы версии ATH-MT, которые имеют встроенную нагревательную рубашку для более эффективного предотвращения осаждения на внутренней поверхности насоса).