Vision 2000-P представляет собой иную концепцию в области контроля процессов, требующую минимального взаимодействия с оператором или знаний АОГ. Vision 2000-P включает в себя технологию АОГ “smart head” Microvision 2 с закрытым источником ионов и впускным отверстием. Данная технология АОГ интегрирована с платформой Process Eye Professional Control, основанной на сценариях, настраиваемой пользователем программой. Передовые технологии, доступные в Vision 2000-P, предоставляют пользователям простой и эффективный процесс контроль работы. • Определение уровня ppb загрязняющих газов при проведении процессов PVD • Отслеживание состава газовой смеси при использовании двух газов • Устранение неполадок в вакууме для быстрого восстановления PM • Интеграция с широким спектром инструментов PVD • Дистанционный вакуумный контроллер для безотказной работы и управления на базе ПК • Доступно с программным обеспечением Process Eye Professional
Технические данные
| Анализатор | |
| Диапазон измеряемых масс | Стандартно: 1-100 а.е.м. Опционально: 1-200 и 1-300 а.е.м. |
| Детектор | Двойной (чаша Фарадея и вторичный электронный множитель) |
| Макс. рабочее давление | 7.6*10-3 Торр (1*10-2 мбар) на входе источника ионов (стандартно), более высокое давление опционально |
| Мин. обнаруживаемое парциальное давление | <2*10-11 Торр (для общего давления <1*10-4 Торр на входе) |
| Мин. определяемая концентрация | <100 ppb для всех распространенных газов, кроме <10 ppm для H2 (предел обнаружения следовых газов) |
| Стабильность | ±0,1 а.е.м. за 8 часов работы при постоянной температуре окружающей среды |
| Источник ионов | Закрытый ионный источник высокой проводимости |
| Материал катода | Сменные двойные вольфрамовые или ториевые нити |
| Рабочая температура | температура электроники: 10-40 °C |
| Условия эксплуатации | Относительная влажность 80% (без конденсации) |
Закрытый источник ионов
Каждый Vision 2000-P включает в себя закрытый источник ионов и специальный впускной клапан с оптимизированной высокой проводимостью и низкой площадью поверхности к рабочей камере PVD. С помощью этого источника система может контролировать полный цикл процесса PVD, от базового вакуума до рабочего давления до 0,01 мбар, без необходимости снижения давления на входе.
Максимизируя соотношение между сигналами рабочего газа газовым фоном в корпусе анализатора Vision 2000-P с дифференциальной накачкой, закрытый ионный источник позволяет обнаруживать следовые количества загрязняющих веществ в технологическом газе.
Дистанционный вакуумный регулятор
Каждая система Vision 2000-P включает в себя модуль удаленного контроля вакуума, который обеспечивает надежную защиту как технологического инструмента, так и АОГ. Это позволяет полностью управлять и контролировать компонентами системы АОГ (нитями, насосами, впускными клапанами и т. д.) с системного ПК. Компактный, удаленно монтируемый в стойку модуль включает в себя RVC и источники питания. 10 м кабелей включены в стандартную поставку, так что узел датчика может быть расположен на значительном удалении.
Мобильная платформа АОГ
Vision 2000-P может быть установлен на мобильной платформе АОГ с удобством возможности перемещения АОГ между камерами по мере необходимости. Мобильная платформа имеет встроенный стол для ноутбука и монтирует электронику на тележке. При помощи стандартного кабеля длиной 3 м, платформа может быть удобно расположена вдали от точки крепления АОГ на инструментальной камере.
Аппаратно-программная платформа управления Process Eye Professional
Анализатор Vision 2000-P использует очень гибкое модульное приложение Process Eye Professional, работающее под 32-битной или 64-битной ОС Windows XP, Vista, 7, 10 или Server 2008. Разработанное с использованием структуры «клиент/сервер», приложение Process Eye Professional поддерживает протокол TCP / IP для полной совместимости на сетевом уровне. Process Eye Professional применяет так называемые «сценарии» (наборы программных параметров) для того, чтобы указать, каким образом прибор должен сканировать и отображать данные, а также реагировать на получаемые данные. Эти сценарии настраиваются пользователем с помощью программного модуля “Recipe Wizard” [Мастер сценариев] и отлично подходят для мониторинга различных фаз циклически повторяющихся сценариев.
Связанные спектры гистограммы и недавно полученные спектры сохраняются в буфере данных для удобства просмотра. Сценарии могут быть связаны между собой для оптимального контроля различных этапов определенного процесса или для облегчения автоматической калибровки с использованием заранее определенных сценариев калибровки. Запуск нужного сценария Process Eye Professional нажатием кнопки (или сигналом внешнего устройства) устраняет необходимость в высококвалифицированных операторах, работающих полный рабочий день.
Гибкость платформы Process Eye Professional позволяет настраивать сценарии, которые будут:
• Определять параметры сбора и отображения данных, наряду с любой онлайн-обработкой данных, необходимой для преобразования данных в соответствующие единицы измерения и информацию
• Отображать данные одновременно в форматах «гистограмма» и «data trend», что позволяет проводить всестороннее и информативное исследование значимых ходов событий
• Включать пользовательские предупреждения и аварийные сигналы, срабатывающие или прекращающиеся, когда данные указывают на то, что условия процесса отклонились от нормальных условий
• Контролировать и отображать другие параметры в виде событий в соответствующих единицах измерения (температура, расход газа, мощность, давление и т. д.) которые связаны с анализатором Vision 2000-B через его гибкий аналоговый и цифровой входы/выходы.
Кроме того, Process Eye Professional обеспечивает формат отображения «live history» [оперативная динамика процесса] для быстрого онлайн-анализа событий тенденции данных. Спектральные характеристики недавно полученных гистограмм сохраняются в буфере данных. Их можно просмотреть, наведя курсор на эскиз соответствующей тенденции.
Приложение
Vision 2000-P - это специализированная система контроля рабочих процессов, предназначенная для отслеживания уровня загрязнения в полупроводниковых и тонкопленочных инструментах PVD-процессов и оповещения об условиях, которые могут негативно повлиять на выход продукта. Кроме того, Vision 2000-P оптимизирует качество вакуума с помощью:
• Мониторинга загрязнения, в том числе углеводородов, до уровней ниже ppm во время процесса PVD
• Мониторинг остаточных газов, включая воздух и воду