В течение последнего десятилетия анализ остаточных газов стал надежной технологией, применяемой в автоматизированных процессах управления рабочей средой для обеспечения важной информацией технологов о возникающих в процессах ошибках и для предупреждения о выходе из-под контроля каких-либо параметров. Microvision 2 - это новейшая инновация в технологии АОГ от MKS, разработанная для удовлетворения всех традиционных требований к датчику АОГ, но с возможностью сбора данных на скоростях, недостижимых с технологиями предыдущего поколения. Кроме того, Microvision 2 предназначен для сбора данных с миллисекундной скоростью на одну точку данных даже при измерении данных во всем динамическом диапазоне АОГ. • Проверенная на практике конструкция квадрупольного масс-анализатора • Более быстрые и точные ответы в замкнутых системах управления • Регистрация данных с большой точностью на высоких скоростях • Сигналы близкие к уровню шума все еще могут быть надежно измерены
Сенсор
Microvision 2 оснащаются двойными катодами и анализатором с пре-фильтром и обладает:
• Более высоким сопротивлением к влиянию загрязнений по сравнению со стандартным фильтром
• Более высокой чувствительностью к высоким (тяжелым) массам по сравнению с одиночными фильтрами (является существенным моментом в мониторинге многих молекул в CVD-процессах)
• Широким выбором ионных источников
• Двойные независимые нити в стандартной комплектации обеспечивают минимальное время простоя при критическом контроле технологического процесса
• Стандартным двойным детектором, включающим чашу Фарадея и УВЭ с микроканальной платой для регистрации парциального давления до 1*10-14 мбар
Электроника
Сбор данных осуществляется с помощью полностью твердотельной и быстродействующей регистрирующей электроники с широким динамическим диапазоном:
• Препятствует образованию ошибок в измерении маленьких пиков сигнала, идущих вслед за большими
• Температурно сбалансированные основные компоненты с улучшенной стабильностью сигнала и дрейфом базовой линии позволяет использовать оборудование для случая, если вакуумная камера стабильна, но присутствуют температурные колебания окружающего воздуха
• Изменяемые условия работы датчика для наилучшего соответствия нуждам любого процесса
• Настройки масс-спектрометра сохраняются и автоматически повторно вызываются и калибруются с помощью программных средств
• Гибкие возможности для цифрового и аналогового ввода/вывода данных и стандартным разъемом для подключения прибора
Встроенное web-приложение
Web-интерфейс позволяет управлять Microvision 2, а также осуществлять калибровку, эксплуатацию и экспорт данных с помощью любого web-браузера и из любой точки подключения к локальной компьютерной сети.
Используя протокол ASCII и связь TCP-IP, любое стороннее программное обеспечение может отправлять и получать команды и данные от Microvision 2. В дополнение к стандартному, встроенному web-приложению, предусматривается возможность использования программного обеспечения в виде Windows-приложения, предоставляющее широкие возможности оператору.
Применения
• Полупроводниковая промышленность
• Установки для нанесения крупных покрытий
• Высоковакуумные приложения
• Идеальный выбор для режима работы с высокими (в а.е.м.) массами
• Мониторинг загрязнений в камере
• Работа в жёстких внешних условиях
• В качестве контрольно измерительного устройства для геттерной установки
В дополнение к стандартным встроенным веб-приложениям управление программным обеспечением также доступно через три приложения Windows, предлагая наилучшее возможное соответствие требованиям любого клиента.
Easy view - программное обеспечение для АОГ с большей функциональностью, чем встроенное web-приложение:
Process Eye Professional - обеспечивает полный контроль всех параметров АОГ:
TOOLweb RGA - специальное программное обеспечение, объединяющее компоненты всей установки, предоставляет наиболее надежную информацию о компонентах от АОГ:
Параметры
| Анализатор | Double (стандартная конфигурация) | 5'' Single | Triple |
| Диапазон измеряемых масс | 100, 200, 300 а.е.м. | 100, 200 а.е.м. | 100, 200, 300 а.е.м. |
| Максимальное рабочее давление | 7,6*10-5 Торр (1*10-4 мбар) | ||
| Чувствительность ионного источника | 2*10-4 А/мбар | ||
| Минимальное определяемое парциальное давление (открытый источник ионов) | накопление в течение 300 мс, 3 среднеквадратических отклонения | ||
| Чаша Фарадея | 1,5*10-11 Торр (2*10-11 мбар) | ||
| Микроканальная панель | 3,8*10-14 Торр (5*10-14 мбар) | ||
| Температура отжига | 250 оС (без электронной части) | ||
| Рабочая температура | • 200 оС (только с чашей Фарадея), температура электроники 10-40 оС • 150 оС (с использованием УВЭ), температура электроники 10-40 оС и давление 1х10-8 мбар • 90 оС (с использованием УВЭ), температура электроники 10-40 оС и давление 1х10-5 мбар | ||
| Материал катода | Вольфрамовый или иридиевый, покрытый окисью тория | ||
| Высоковакуумный ионный источник | Опционально | ||
| Скорость дегазации | менее чем 1*10-9 мбар литр/сек | ||
| PVD ионный источник | Опционально | - | Опционально |
| Ионный источник Cross beam | Опционально | - | Опционально |
| Разрешение | менее 10% между пиками с равными высотами по всему диапазону измеряемых масс | ||
| Дрейф положения пика | ±0,1 а.е.м. за 8 часов работы при постоянной температуре окружающей среды | ||
| Фланцы | DN 40 CF-F | ||