Анализатор остаточных газов общего назначения e-Vision 2
Анализ остаточных газов (АОГ) является повседневной задачей для любого технолога. Возможность быстро определить парциальные давления газов в вакуумной камере дает полноту информации для облегчения устранения возможных течей, определения компонентов при нарушенной дегазации, идентификации загрязнения процесса, определения момента необходимости регенерации крио-насосов и геттерных систем. e-Vision 2 является одним из новейших продуктов, разработанный специально для удовлетворения всех традиционных требований, предъявляемых к квадрупольному сенсору, но с регистрацией данных на скоростях, недоступных ранее технологиям предыдущих поколений. E-Vision 2 подходит для широкого спектра применений: • Поиск течей в вакуумных линиях, уплотнениях и сварочных швах • Диагностика вакуума • Мониторинг откачки • Мониторинг качества отжига • Проверка герметичности охлаждающих линий в вакуумной камере • Мониторинг загрязнений в камере • В качестве контрольно измерительного устройства для крионасоса • В качестве контрольно измерительного устройства для геттерной установки
- SKU: EL004488
- Цена:
Подробнее
Оборудование
Сенсор
Проверенные на практике анализаторы MKS Instruments со стандартными двойными катодами обеспечивают минимальное время для проведения диагностики и проверки состояния оборудования.
Квадрупольные масс-спектрометры могут поставляться с двойным детектором, включающим чашу Фарадея и УВЭ (умножитель вторичных электронов), при этом предел детектирования парциальных давлений газов расширяется до 1*10-14 мбар.
Электроника
Сбор данных осуществляется с помощью полностью твердотельной и быстродействующей регистрирующей электроники с широким динамическим диапазоном. Эта технология препятствует образованию ошибок в измерении маленьких пиков сигнала, идущих вслед за большими.
Температурная стабилизация основных компонентов масс-спектрометра обеспечивает стабильный сигнал измерений и уменьшает дрейф, при этом масс-спектрометр не требует повторной калибровки, если температура вакуумной камеры стабильна, но присутствуют температурные колебания окружающей среды.
Встроенное web-приложение
Web-интерфейс позволяет управлять масс-спектрометром e-Vision 2, а также калибровкой и экспортом данных с помощью любого web-браузера и из любой точки подключения к локальной компьютерной сети.
С помощью ASCII и TCP-IP протоколов можно посылать и получать команды и данные от e-Vision 2.
В дополнение к стандартному, встроенному web-приложению, предусматривается возможность использования программного обеспечения в виде Windows-приложения, предоставляющее широкие возможности оператору.
Easy view
Это программное обеспечение с большей функциональностью, чем встроенное web-приложение:
- запись и просмотр данных с помощью специальной программы Recall viewer
- графическое представление данных с комментариями
- управление несколькими масс-спектрометрами с использованием лишь одного комплекта программного обеспечения
Технические параметры
| Анализатор | |
| Диапазон измеряемых масс | 1-100 или 1-200 а.е.м. |
| Длина фильтра | 4" (100 мм) |
| Детектор | чаша Фарадея или чаша Фарадея с УВЭ (умножителем вторичных электронов) |
| Катоды | Вольфрамовый или иридиевый, покрытый окисью тория |
| Максимальное рабочее давление | 1*10-4 торр (1,3*10-4 мбар) |
| Чувствительность ионного источника | 2*10-4 А/мбар |
| Мин. определяемое парциальное давление (накопление в течение 300 мс, 3 среднеквадратических отклонения) | 2*10-11 торр (2,6*10-11 мбар) чаша Фарадея 5*10-14 торр (6,7*10-14 мбар) умножитель |
| Стабильность | ±0,1 а.е.м. за 8 часов работы при постоянной температуре окружающей среды |
| Разрешение | < 10% между пиками с равными высотами по всему диапазону измеряемых масс |
| Температура отжига | 250 оС (без электронной части) |
| Рабочая температура | 200 оС (только с чашей Фарадея), температура электроники 10-40 оС 150 оС (с использованием электронного умножителя), температура электроники 10-40 оС и давление < 1*10-8 мбар 90 оС (с использованием электронного умножителя), температура электроники 10-40 оС и давление < 1*10-5 мбар |