Название товара: Системы очистки газов (Gas Abatement Systems) Производитель: Busch Group, Edwards Vacuum, EBARA Corporation Тип оборудования: Очистительные Системы очистки газов (Gas Abatement Systems) специализированное промышленное оборудование, предназначенное для нейтрализации, улавливания и удаления опасных, токсичных или экологически вредных газовых выбросов перед их попаданием в атмосферу. Они активно применяются в полупроводниковой, химической, металлургической и нефтегазовой отраслях для соблюдения экологических стандартов и защиты персонала.
| Параметры | Значение (типовой диапазон) |
|---|---|
| DRE для PFC газов (SF₆, NF₃) | > 99.9 % |
| Максимальный поток газов | 400 – 600 slm |
| Электропитание | 3-фазное, 380-480 В, 50/60 Гц (до 35 кВт) |
| Расход воды (проточный) | 15 – 25 л/мин |
| Расход азота (N₂) для продувки | 50 – 150 slm |
| Габариты (ШхГхВ) | ~ 1000 х 1200 х 2100 мм |