CT-BW Twin Burn/Wet Point-of-Use Abatement Работа аппарата CT-BW Twin с двойной камерой основана на передовой технологии серии CT-BW. Растущий рынок, требующий максимального сокращения издержек на процессы утилизации в промышленном производстве, привел к появлению аппарата CT-BW Twin, который гарантирует максимальное время безотказной работы для современного полупроводникового предприятия при наименьших затратах. Система включает в себя два реактора (камеры сгорания), работающих в, так называемом, режиме «холодного резервирования» с одной общей секцией увлажнения и одной общей емкостью хранения жидкости. Смысл «холодного резервирования» следующий: при работе первого реактора, второй находится в режиме ожидания, и, в случае остановки первого, вследствие сбоя в системе и/или сервисного вмешательства, гарантированно включается второй. Функция утилизации автоматически передается второму реактору, таким образом, обеспечивается непрерывность процесса в целом.


  • SKU: EL004468
  • Price: 


More Details


Benefits

  • Modular design.
  • High resistance to corrosion due to the use of special materials.
  • Ability to process large amounts of deposits.
  • Extended TBO with short mean time to repair.
  • Full size humidifier section adaptable to various gas loads.
  • Split cooling system to handle high energy loads such as high inlet hydrogen.
  • Convenience of service.
  • Compliance with international requirements.
A type
Cleansing