Спектроскопические эллипсометры большой площади HORIBA Scientific предназначены для решения тонкопленочных управляющих решений на плоском дисплее и фотоэлектрическом производстве.
Большая система отображения позволяет проводить измерения тонкой пленки в каждом месте на панели. Наши спектроскопические эллипсометры большой площади управляются нашей программной платформой DeltaPsi2, которая обеспечивает надежные рецепты для рутинных тонкопленочных измерений. Автоматические рецепты полностью автоматизируют измерение + моделирование + отображение + результаты. Автоматическая отчетность, переработка данных, импорт / экспорт - вот некоторые из многих функций DeltaPsi2.
Эллипсометры HORIBA Scientific обеспечивают высококачественные тонкопленочные измерения на стеклянных листах и гибких подложках.
Система тонкопленочной метрологии большой площади спроектирована для выполнения всех ваших требований к приложениям.